【摘 要】
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本文说明了GaAs的衬底制备对于器件的重要性;分析了过去的抛光方法的缺点,提出了“填隙式”抛光的现象和成因,介绍了我们所作的若干种抛光试验,给出了典型的比较和较好的结果
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本文说明了GaAs的衬底制备对于器件的重要性;分析了过去的抛光方法的缺点,提出了“填隙式”抛光的现象和成因,介绍了我们所作的若干种抛光试验,给出了典型的比较和较好的结果。我们选择了现有条件下最经济,安全和易操作的抛光方案,获得了比较理想的平整镜面,其质量比过去所用的抛光方法好得多。
This paper describes the importance of GaAs substrate preparation for the device; analyzes the shortcomings of the past polishing methods; presents the phenomenon and cause of “interstitial” polishing; introduces several polishing tests we have conducted; Comparison and better results. We chose the most economical, safe and easy-to-use polishing solution available under the current conditions and obtained the ideal flat mirror with a much better quality than the polishing methods used in the past.
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