【摘 要】
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一、引言为了检验单端夹紧的金属弯曲弹簧定点上的力F 和弯曲ξ之间的线性关系,需要制造一种位移测量装置。其分辨力要求很高,因为弯曲应力很小,额定弯曲ξ_N 只有100微米。
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一、引言为了检验单端夹紧的金属弯曲弹簧定点上的力F 和弯曲ξ之间的线性关系,需要制造一种位移测量装置。其分辨力要求很高,因为弯曲应力很小,额定弯曲ξ_N 只有100微米。已用两种无接触位移测量装置(电容频率模拟装置和干涉装置)解
I. INTRODUCTION In order to test the linear relationship between the force F and the bending ξ at the fixed point of a single-ended, clamped metal bending spring, a displacement measuring device has to be manufactured. The resolution of the demanding, because the bending stress is small, rated bending ξ_N only 100 microns. Two non-contact displacement measuring devices (capacitive frequency simulators and interferometers) have been used
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