【摘 要】
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本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。
In this paper, the four-electrode system in RF discharge
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本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。
In this paper, the four-electrode system in RF discharge is introduced in detail, and its longitudinal potential distribution, electric field distribution in cross section and the related discharge characteristics are discussed in depth.
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