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在超精密加工与检测技术中，高精度长导轨直线度误差的测量与补偿技术一直是一个研究重点。在系统研究现有各种导轨直线度误差测量方法的基础上，提出一种使用短基准的导轨直线度误差测量方法，将长导轨直线度误差的测量问题分解为具有一定重叠区域的数段较短导轨直线度误差的测量问题。直接利用超精密直线度物理基准测量各段导轨直线度误差，通过将各段导轨直线度误差拼接起来，重构出长导轨的直线度误差。利用空间坐标变换关系建立基于最小二乘法的直线度误差测量算法，以及相对机械运动误差对测量结果影响的数学模型，分析研究重叠区域二次采样点的