Sm在GaAs(100)表面的吸附和界面反应的SRPES研究

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利用同步辐射光发射研究了Sm/GaAs(10)界面形成.高分辨的芯能级谱结果表明,在低覆盖度下(<0.1nm),Sm与衬底的作用较弱,形成较突出的金属/半导体界面.当Sm的覆盖度增加时,As和Ga的表面发射峰很快消失,表明Sm与Ga发生置换反应而与As形成化学键.同时,Ga原子会向Sm膜体内扩散且偏析到Sm膜表面,而As-Sm化合物只停留在界面区域.当Sm膜厚度达到0.5nm时,Sm膜开始金属化.结合理论模型,文中还详细地讨论了界面形成和界面结构. The formation of Sm / GaAs (10) interface has been studied using synchrotron radiation. High-resolution core energy spectrum results show that at low coverage (<0.1nm), Sm and the substrate is weak, forming a more prominent metal / semiconductor interface. As Sm coverage increases, the surface emission peaks of As and Ga disappear rapidly, indicating that Sm and Ga undergo a displacement reaction to form a chemical bond with As. At the same time, Ga atoms diffuse into the Sm film and segregate to the Sm film surface, while the As-Sm compound only stays in the interface region. When the Sm film thickness reaches 0.5 nm, the Sm film starts to be metallized. Combined with the theoretical model, the article also discussed in detail the interface formation and interface structure.
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