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报道用自制等离子体凤离子注入设备进行三种不同处理以改善金属表面性质的研究，氮离子注入，钛的离子束增强沉积和氮及钛离子混合注入。俄歇浓度分布表明氮离子在金属表面层的注入是非常光滑的Ｘ－光电子能谱指出ＩＢＥＤ和ＩＢＭ处理后样品表面有ＴｉＮ薄层形成，实验显示所有处理后金属的表面硬度和抗磨损性能都大为改善。