【摘 要】
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报载“中国科技大学同步辐射室用同步辐射光刻蚀进行超细微加工,在不到1平方厘米的硅片上集成几亿到几十亿个电子元件”;“中科院合肥分院固体物理所用纳米技术研制的集成电
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报载“中国科技大学同步辐射室用同步辐射光刻蚀进行超细微加工,在不到1平方厘米的硅片上集成几亿到几十亿个电子元件”;“中科院合肥分院固体物理所用纳米技术研制的集成电路硅芯片,从理论上讲比一张纸还薄”;“上海生命科研中心纳米生物学研究所在DNA与DNA蛋白质复合物结构的扫描探针显微学研究方面取得重要成果。”
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