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Ｆｚ１１５型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原理及其结构特点等。
Fz115型区熔炉的设计及特点
【摘 要】
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Ｆｚ１１５型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原理及其结构特点等。
【机 构】
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北京有色冶金设计研究总院
【出 处】
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有色设备
【发表日期】
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1997年4期
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