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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积（EA-CVD）方法沉积大面积金刚石膜，在金刚石膜的沉积过程中，氮气流量对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
氮气流量对金刚石膜生长的影响
【摘 要】
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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积（EA-CVD）方法沉积大面积金刚石膜，在金刚石膜的沉积过程中，氮气流量对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman等手段对金
【机 构】
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长春大学人事处,长春大学理学院
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2008年6期
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