论文部分内容阅读
根据剥离霍尔技术的物理基础，分析了范德堡测试结果中薄膜材料在逐层测量时Ｆ因子发生变化的可能原因，主要归因于被测样品存在导电层厚度和电阻率不均匀性所致。而实验表明，采用阳极氧化技术控制膜厚的不均匀性可小于１０％，因此导致Ｆ因子变化的主因是ρ（ｘ，ｙ）和θＨ（ｘ，ｙ）的存在。实验分析了Ｆ因子随深度的改变对纵向分布测量结果的影响，指出，当Ｆ因子随深度改变时，分析结果应该慎用；在作剥离霍尔测量时加测Ｆ因子