直腔泵和凸腔泵抽速系数的对比研究

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本文运用蒙特卡洛方法 ,通过同口径的凸腔泵和直腔泵的对比研究 ,确认凸腔型扩散泵由于其蒸汽射流界面增大以及泵壳的特殊形状使得泵的抽速系数比直腔型扩散泵提高。计算结果符合一般规律 In this paper, Monte Carlo method, through the same caliber convex cavity pump and direct cavity pump comparison study confirmed that the convex cavity diffusion pump because of its increased steam jet interface and the special shape of the pump housing makes the pump pumping coefficient than straight cavity Type diffusion pump to improve. Calculation results in line with the general law
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