,Realization of conformal doping on multicrystalline silicon solar cells and black silicon solar cel

来源 :中国物理B（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：zcllq

【作者】

：

Shen Ze-Nan Xia Yang Liu Bang-Wu Liu Jin-Hu Li Chao-Bo Li Yong-Tao

【机构】

：

Key Laboratory of Microelectronics Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics,

【出处】

：

中国物理B（英文版）

【发表日期】

：

2014年11期

【关键词】

：

solar cells plasma immersion ion implantation conformal doping black silicon

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