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提出一种基于激光多普勒效应的回转体表面轮廓测量系统。散射光的多普勒信号强度、信噪比是测量的重要参量,为此研究了多普勒差动方法、锁相环(PLL)频率跟踪器等技术,设计出差动纵向多普勒光路、频率跟踪特性良好的锁相环电路、精密旋转进给系统。实现了测量分辨率10μm,最大相对误差1.0%。
激光多普勒效应回转体表面轮廓测量系统
【摘 要】
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提出一种基于激光多普勒效应的回转体表面轮廓测量系统。散射光的多普勒信号强度、信噪比是测量的重要参量,为此研究了多普勒差动方法、锁相环(PLL)频率跟踪器等技术,设计出
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
：
光电子·激光
【发表日期】
：
2003年09期
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