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ＴｉＯ２材料作为氧传感器具有广泛的应用。本文介绍了ＴｉＯ２氧传感器的工作原理和制作过程中采用的三种工艺，即陶瓷烧结体，厚膜和薄膜技术。并对如何提高氧传感器的性能进行了探讨。
TiO2氧敏元件的研究和发展概况
【摘 要】
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ＴｉＯ２材料作为氧传感器具有广泛的应用。本文介绍了ＴｉＯ２氧传感器的工作原理和制作过程中采用的三种工艺，即陶瓷烧结体，厚膜和薄膜技术。并对如何提高氧传感器的性能进行了探讨。
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1998年3期
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