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基于石英晶体振荡原理，提出了在真空状态下的一种超薄型镀膜测厚方法，介绍了该项测厚技术的基本电气原理，研究了测厚过程中石英晶体材料的选取方法和组织实施原则。石英晶体应具有固定的技术参数，并被安放于真空舱内的正确位置。密闭的石英晶体探头通过同轴电缆与外部振荡器相连，振荡器输出的频率信号由微机进行处理，将频率信号转化为厚度值。