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针对微机械面型微加热器，采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布，以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析．分析结果表明，真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果，而大气下的加热电阻应爆可能小同时尽可能分布在整个加热区内，分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试，与实际情况吻合较好，图7表1参11