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CMOS图像传感器常采用像元在奈奎斯特频率处的调制传递函数(MTF)值对成像质量进行评价。MTF主要由孔径MTF和扩散MTF的频域乘积得到,其中孔径MTF与CMOS图像传感器像元的物理结构相关,扩散MTF主要由感光区p-n结的工艺参数决定,同时工艺参数会影响像元的量子效率(QE),进而影响信噪比(SNR)。从CMOS图像传感器像元的工艺参数出发,详细分析了MTF函数和SNR的理论机理,并列举了300~1000nm光谱段中8个典型光波长条件下CMOS图像传感器像元的MTF和SNR的计算结果,L型灵敏度