宽带介质膜分光镜的研制

来源 :光学工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cheng2008YING
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本文从理论上阐述了宽带分光膜。工艺上研究了大面积镀多层膜的均匀性枝术;减少膜层吸收的技术。并对克服3μ附近的水蒸汽吸收问题进行了探讨。文章还列出了所得实验曲线,在0.48μ~1.1“内,其反射率大于95%,在1.2μ~5μ内,透射率大于70%(除3μ附近之外,透射率与基片本身透射率相近)。作出了具有良好机械强度和化学稳定性的宽带分光膜。 In this paper, the theory of broadband spectral film. Technically studied the uniformity of large-area multi-layer coating sticks; reduce the absorption layer technology. And to overcome the 3μ near the water vapor absorption issues were discussed. The article also lists the resulting experimental curves with reflectivities greater than 95% within 0.48μ to 1.1 "and greater than 70% within 1.2μ to 5μ (except for the vicinity of 3μ, the transmissivity is transparent to the substrate itself The rate is similar) .With a good mechanical strength and chemical stability of the broadband spectral film.
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