【摘 要】
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准分子激光的输出特性使它能很好地适用于多种精密材料处理和生物医学应用。然而，至今对光束传输元件尤其是膜层的光学损伤始终限制着这些系统的稳定性。光学元件制造商曾致力
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准分子激光的输出特性使它能很好地适用于多种精密材料处理和生物医学应用。然而，至今对光束传输元件尤其是膜层的光学损伤始终限制着这些系统的稳定性。光学元件制造商曾致力于这一问题，将典型的膜层寿命延长了一个数量级以上。新的研究方法将抗损伤能力得到进一步的提高。?
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