软X射线光学表面散射检测

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应用自行研制的软X射线反射率计,分别对不同的反射镜样品,在不同的工作波段以及掠射角下研究了软X射线波段掠入射光学表面的散射.实验结果表明:掠射角增加,波长减小,粗糙度增加,软X射线掠入射表面散射程度加重.
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