【摘 要】
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在CVD石墨烯的转移过程中无法避免会出现胶残留,导致了材料不必要的p型掺杂。研究表明,通常来自这种残余胶的p型掺杂影响了石墨烯的电学特性。本文发现NaOH溶液能够有效地去
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院,中科院上海徽系统与信息技术研究所
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在CVD石墨烯的转移过程中无法避免会出现胶残留,导致了材料不必要的p型掺杂。研究表明,通常来自这种残余胶的p型掺杂影响了石墨烯的电学特性。本文发现NaOH溶液能够有效地去除这种PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯（C5H8O2）x）中的含氧官能团,减少胶残留,并首次将其运用在CVD生长的石墨烯单层薄膜上。通过不同浓度NaOH溶液的选择,我们有效地解决了NaOH与SiO2/Si衬底反应的问题。处理结果显示,通过NaOH溶液浸泡石墨烯的载流子浓度变为原来的三分之一甚至更少,而且处理效果最明显的石墨烯样品的迁移率从880
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