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通过在分子级衡量新材料和工艺，高生产率的开发方法可以提高产品的吞吐率和成品率，并降低成本。
材料和工艺创新提高生产效率
【摘 要】
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通过在分子级衡量新材料和工艺，高生产率的开发方法可以提高产品的吞吐率和成品率，并降低成本。
【机 构】
：
ATMIInc.
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
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2009年9期
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