A12O3薄膜包装材料工艺参数与阻隔性的实验研究

• 作 者: 徐克非 朱鸿 孙智慧 林晶 刘壮
• 机 构: 哈尔滨商业大学,黑龙江省生物产业软包装材料工程技术研究中心
• 出 处: 中国印刷与包装研究
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 磁控溅射 氧化铝薄膜 阻隔性
• 基金项目: 国家科技支撑计划

采用直流反应磁控溅射工艺,进行了一系列在PET塑料薄膜表面沉积氧化铝的实验,研究了氩气(Ar)、氧气(O2)和溅射功率对所制备的A12O3薄膜透氧率和透湿率的影响.实验表明,当氩气流量为90sccm、氧气流量为10sccm、溅射功率为600W时,A12O3薄膜的透氧率为2.11cm3/(m2×atm×24h),透湿率为0.58g/(m2×atm×24h),此时薄膜阻隔性能最好.