【摘 要】
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本文介绍了微电子制造的科学原理与工程技术。微电子制造技术涵盖了集成电路制造所涉及到的多数单项工艺,囊括了反应离子刻蚀、离子注入以及等离子体等。而对于每一种单项工
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本文介绍了微电子制造的科学原理与工程技术。微电子制造技术涵盖了集成电路制造所涉及到的多数单项工艺,囊括了反应离子刻蚀、离子注入以及等离子体等。而对于每一种单项工艺,详细的介绍了其化学和物理原理,对用于集成电路制造的工艺设备业也进行了一定的描述。其中对于一些先进技术也有详细的介绍,比如快速热处理丁浩分子束外延和有机化学沉淀等,在此基础上,还介绍了一系列常见的集成电路工艺技术,比如双极型技术和砷化镓技术,对于微电子制造的新兴领域即使微机械电子系统和工艺也有涉及。微电子制造科学原理与工程技术一书是高等学校本科生
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