Preparation of ITO transparent conductive film by sol-gel method

• 作 者: 李芝华 任冬燕
• 机 构: SchoolofMaterialsScienceandEngineeringCentralSouthUniversity,DepartmentofMaterialsEngineering,MianYa
• 出 处: Transactions of Nonferrous Metals Society of China
• 发表日期: 2006年6期
• 关键词: ITO FILM SOL-GEL process RESISTIVITY TRANSPARENCY ITO film sol-gel process res

ITO 透明传导性的电影被大音阶的第五音胶化方法在石英玻璃的底层上准备。原料是硝酸盐铟， acetylaeetone 和无水的氯化物(SnCl_4 ) 的掺杂物。到水晶的电影和这些电影的微观结构的从胶化的过程被 DTA-TG， XRD 和 SEM 调查。这些电影的电性能上的准备进程的影响被四探查的仪器也学习。当时，结果证明 ITO xerogel 的结晶化过程完成热处理温度 reaches600 deg C。ITO 电影在球形的粒子，和两个积累的小囊的结构上拥有热处理温度和冷却的率在 ITOfilms 的