【摘 要】
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薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用(蒋松涛)薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选。系统
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薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用(蒋松涛)薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选。系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN,ZnO,PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤
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