【摘 要】
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采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对于LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2（NCM,523）陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强
【基金项目】
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深圳市基础研究资助项目(JCYJ20160422144751573,JCYJ20160422104921235,JCYJ20140418181958489)
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采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对于LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2（NCM,523）陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度的影响。通过对NCM陶瓷靶材进行分析表征,研究结果表明,在烧结温度为1 100℃时,靶材具有最优的各项性能,其相对密度为98.8%,抗弯强度为65.7MPa,其各项力学性能均已经到达射频磁控溅射镀膜机所需性能,适合于工业化生产。
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