论文部分内容阅读
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置，通过在90度磁过滤管道和阴极之间加30－60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高，研究和观察表明，此时在过滤管道和阴之间产生了阴极真空弧放电，并因此使阴极消耗率大幅度增大，对此放电回路及其和MEVVA阳极－阴极之间弧放电的相互影响进行了初步的实验研究。