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本文报导的X波段硅微波振荡晶体管WZ321型器件,采用了亚微米全干法刻蚀技术、离子注入基区掺杂技术、砷发射区、多层金属化电极、小寄生参量的全密封封装,使器件具有良好的微波性能和可靠性。器件典型的微波参数是在7.5GHz下,振荡输出20mW。
X波段硅微波振荡晶体管
【摘 要】
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本文报导的X波段硅微波振荡晶体管WZ321型器件,采用了亚微米全干法刻蚀技术、离子注入基区掺杂技术、砷发射区、多层金属化电极、小寄生参量的全密封封装,使器件具有良好的微
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1990年2期
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