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中国科学院光电技术所于1978年承担了两项为发展我国大规模集成电路（LSI）用的关键工艺设备的研制任务。经过三、四年的努力，已先后胜利完成研制工作。继1981年7月在北京通过了性能优良的、具有七十年代中期国际水平的JK-1型半自动接近式光刻机的院级技术鉴定之后，最近科学院成都分院受科学院技术科学部的委托在成都召开了高精度激光定位工件台系统院级鉴定会，通过了技术鉴定。