【摘 要】
：
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)因其较高的把材原子离化率和优异的薄膜成形性能,逐渐成为PVD领域的热点镀膜技术。把材原子的高度离化宏观表现为较大的放电电流。介绍了等离子体
论文部分内容阅读
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)因其较高的把材原子离化率和优异的薄膜成形性能,逐渐成为PVD领域的热点镀膜技术。把材原子的高度离化宏观表现为较大的放电电流。介绍了等离子体放电靶电流的构成及其形成原理,分析了HiPIMS放电过程中磁场、靶电压、工作气压对靶材原子离化率的影响,及其相应放电靶电流曲线。空间磁场可以束缚电子,增长托前电子运动轨迹,同增大工作气压一样,都可以减小粒子运动平均自由程,增大粒子碰撞几率,提高原子离化率,增大放电靶电流。升高靶电压可以提高离子碰撞能量,把电压越高,放电把电流越大。分析了
其他文献
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
足球产业化发展对于国际经济发展有着推动的作用,但是在我国的足球发展过程中,其产业化发展还有一定的提升空间,其远远未达到产业化的发展趋势。究其原因,主要就是由于其自身
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
墓祭是古代传统祭祀的组成部分,具有深厚的历史底蕴和民众基础,随着时间的推移和社会进步,众多的祭祀礼仪已经消亡,但墓祭仍然保留了下来,是现代民间最重要的祭祀活动。两汉
目的:探讨无锡地区人群中尿酸与甘油三酯和总胆固醇之间的关系。方法:根据血尿酸、甘油三酯和总胆固醇浓度分组,以脲酶比色法测定血尿酸,以氧化酶法测定总胆固醇,以脱氢酶法
目的:观察子宫动脉栓塞术治疗产后大出血的临床效果。方法:对产后大出血患者行子宫动脉栓塞术,经造影证实后注入明胶海绵颗粒予以栓塞。结果:23例患者中,21例即刻止血,2例术