【摘 要】
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基于光纤通信设计了微波电源控制系统，提供了远程控制与手操器控制两种模式：硬件部分以C8051F500为控制核心，辅以光电转换模块，以光纤为传输介质，实现了输出采样、模式切换、状态
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基于光纤通信设计了微波电源控制系统，提供了远程控制与手操器控制两种模式：硬件部分以C8051F500为控制核心，辅以光电转换模块，以光纤为传输介质，实现了输出采样、模式切换、状态反馈、数据通信等功能；软件部分包括提供控制功能的上位机与执行指令的下位机，用户可借助GUI界面对微波电源进行实时监控。考虑到可靠性问题，从供电、信号传输、通信、软件等方面进行了设计，保证了系统的可靠工作。微波电源是等离子体设备的核心，它的工况直接决定了等离子体的各项参数，为了取得良好的工艺效果与稳定性，需要设计控制系统保证微波电源
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