【摘 要】
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首次提出用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。目前利用该技术已获得了微复制模具雏形，其加工深度已达到１８０μｍ，深宽比
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心,“薄膜与微细技术”国家教委部门开放研究实验室,北京大学微电子学研究所
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首次提出用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。目前利用该技术已获得了微复制模具雏形，其加工深度已达到１８０μｍ，深宽比大于２０。利用该技术可对非硅材料，如金属、塑料或陶瓷进行三维微加工。该技术的开发成功，可望成为一项全新的三维微加工技术。
It is the first time to propose three-dimensional micromachining of non-silicon materials using Deepetching, Electroforming, Microreplication (DEM) technology, which absorbs the advantages of bulk micromachining technology and LIGA technology and solves the light source problem of LIGA technology. At present, the technology has been used to obtain microform replica mold prototype, the processing depth has reached 180μm, aspect ratio greater than 20. Using this technology, non-silicon materials such as metals, plastics, or ceramics can be micro-machined in three dimensions. The successful development of this technology is expected to become a new three-dimensional micro-machining technology.
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