【摘 要】
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较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并研究了空气粘滞效应对品质因子的影响.在此基
【机 构】
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较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并研究了空气粘滞效应对品质因子的影响.在此基础上,设计出几种不同尺寸、不同形状的微型谐振子结构,并用表面微机械加工方法成功地制成了能横向振动的静电梳微振子.实测得到的谐振频率在7.5～9.0kHz范围内,在空气中品质因子为100左右,与理论计算能较好符合.
The structure and working principle of electrostatic comb-driven micro-oscillator are systematically studied. The resonant frequency, quality factor, transconductance and other parameters of the micro-oscillator and the corresponding mechanical and electrical models are also derived. The effect of air viscosity on the quality factor On the basis of which, several kinds of miniature resonator structures of different sizes and shapes are designed and the microelectronic oscillators capable of transverse vibration are successfully fabricated by surface micromachining method.The measured resonance frequency is 7.5 ~ 9.0kHz range, the quality factor of about 100 in the air, and theoretical calculations can be better.
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