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电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
【摘 要】
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电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.
【机 构】
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清华大学工程力学系破坏力学教育部重点实验室,清华大学破坏力学教育部重点实验室客座研究人员
【出 处】
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力学与实践
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（973计划）（2004CB619304,2007cB936803）,国家自然科学基金资助项目（10625209,1073208010472050）,教育部新世纪优秀人才支持计划（（KFJJ03-1）和北京市自然科学基金资助项目（3072007）.
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