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电化学C-V测量是半导体行业常用的一种测试方法,通过循环腐蚀-测量的过程能够得到载流子的纵向分布曲线。使用电化学C-V测量对AlGaAs材料掺杂浓度进行测试,在测试过程中对耗散因子、测试频率和腐蚀电流进行优化选择,能够准确地对AlGaAs材料的掺杂浓度进行纵向剖析,通过测量曲线的分析来指导外延层浓度的设计和优化,进一步提高器件性能。