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本文详细介绍了自行研制成的电子回旋共振微波等离子体装置的结构，性能和技术指标。并应用高斯计，法拉第筒和朗缪探针对装置的磁场位形发布和等离子的电流及密度进行了测量。
用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置
【摘 要】
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本文详细介绍了自行研制成的电子回旋共振微波等离子体装置的结构，性能和技术指标。并应用高斯计，法拉第筒和朗缪探针对装置的磁场位形发布和等离子的电流及密度进行了测量。
【机 构】
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中国科学院物理所
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1995年2期
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