【摘 要】
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本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引言:本文的目的是汇集在真空技术的各个领域
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本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引言:本文的目的是汇集在真空技术的各个领域中合理使用扩散泵、机械泵机组,降低在抽气过程中来自有机泵油、人造橡胶一密封圈以及真空油脂等污染的
This article details the sources of contamination of the diffusion pump vacuum system. Describe ways to reduce these contaminants. Also proposed a reasonable extraction method, with particular emphasis on the use of dry nitrogen purge gas. INTRODUCTION: The purpose of this paper is to bring together diffusion pumps and mechanical pumping units in all areas of vacuum technology to reduce contamination from organic pump oil, elastomeric seals and vacuum grease during the pumping process
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