Measurement Method of the Thickness Uniformity for Polymer Films

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xueyupiaoling

【摘要】

：

Several methods for investigating the thickness uniformity of polymer thin films are presented as well as their measurement principles. A comparison of these ex

【作者】

：

YANGHong-liang RENQuan FANYun-

【机构】

：

Dept.ofOptics,SchoolofPhys.andMicroelectron.,ShandongUniveristy.Jinan250100

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

高分子膜厚度测量测量方法厚度一致性 Polymer complex thin films Thickness uniformity Measurement

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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Several methods for investigating the thickness uniformity of polymer thin films are presented as well as their measurement principles. A comparison of these experimental methods is given.The cylindrical lightwave reflection method is found to can obtain

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