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【摘 要】
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报道了CdS薄膜的CBD法沉积及其结构特性，其中的水浴溶液包括硫脲、乙酸镉、乙酸铵和氨水溶液．研究了水浴溶液的pH值、温度、各反应物溶液的浓度和滴定硫脲与倾倒硫脲等基本工艺
【机 构】
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南开大学信息学院光电子研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年2期
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