【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相法合成的金刚石膜质量好，但采用常规CH4-H2反应气体体系，金刚石膜的沉积速率较慢。为此，实验研究了C2H5OH-H2、CH3COCH3-H2等含氧体系下碳源浓度、微波
【机 构】
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四川大学材料科学与工程学院,百色学院物理与电信工程系
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采用微波等离子体化学气相法合成的金刚石膜质量好，但采用常规CH4-H2反应气体体系，金刚石膜的沉积速率较慢。为此，实验研究了C2H5OH-H2、CH3COCH3-H2等含氧体系下碳源浓度、微波功率、气体压力对金刚石膜沉积速率、表面形貌、电阻率的影响。结果表明，使用C2H5OH—H2、CH3COCH3-H2等含氧体系，金刚石膜的生长速率可达0．6μm／h以上，较常规CH4-H2体系提高1倍以上，并且金刚石膜的纯度高（80％以上）、晶型好、电阻率高。引入含氧碳源是一种提高金刚石膜沉积速率的有效方法。
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