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光电反馈式静电悬浮的光电控制系统
Photoelectric feedback electrostatic levitation photoelectric control system
光电反馈式静电悬浮的光电控制系统
【摘 要】
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光电反馈式静电悬浮的光电控制系统
Photoelectric feedback electrostatic levitation photoelectric control system
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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2001年02期
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