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器件工艺的巨大变化,为芯片加工开辟了新的领域。
The tremendous changes in device technology have opened up new areas for chip processing.
九十年代器件工艺展望
【摘 要】
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器件工艺的巨大变化,为芯片加工开辟了新的领域。
The tremendous changes in device technology have opened up new areas for chip processing.
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年01期
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