【摘 要】
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采用热丝化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3、N_2为反应气源,通过改变氮气流量沉积氮化硅薄膜。通过紫外-可见（UV-VIS）光吸收谱、傅里叶红外透射光谱（FTIR）、X射线衍射谱（XRD）等测试手
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采用热丝化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3、N_2为反应气源,通过改变氮气流量沉积氮化硅薄膜。通过紫外-可见（UV-VIS）光吸收谱、傅里叶红外透射光谱（FTIR）、X射线衍射谱（XRD）等测试手段对薄膜的光学带隙、键合特性及晶相进行表征与分析。结果表明：薄膜主要表现为Si-N键合结构,当N_2流量从20 sccm变化到40 sccm时,热丝能够充分的分解N_2,薄膜中N原子过量,其周围的Si和H能充分的与N结合。但由于N_2的解离能较高,当N_2流量高于40 sccm时,氮气在反应过程中对薄膜内的氮
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