1.5MeV LIA氦质谱真空检漏

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【摘要】

：

本文详细地论述了１．５ＭｅＶ加速器的检漏工艺、检漏方法和检漏系统的设计． This article discusses in detail the 1.5MeV accelerator leak detection process, leak detection metho

【作者】

：

李凡

【机构】

：

中国工程物理研究院

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

1990年02期

【关键词】

：

真空检漏 eV LIA 漏率直线加速器真空测量辅助系统流导束流品质结构材料抽气泵

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本文详细地论述了１．５ＭｅＶ加速器的检漏工艺、检漏方法和检漏系统的设计． This article discusses in detail the 1.5MeV accelerator leak detection process, leak detection method and leak detection system design.

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