【摘 要】
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Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析，旨在找出影响其性能参数
【机 构】
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Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析，旨在找出影响其性能参数的主要因素，进而实现微动工作台的优化设计
The X-ray interferometry nanometer measurement system requires that the analyzer’s pitch angle is on the order of 10-8rad and the side slip angle is on the order of 10-6rad. To this end, a symmetrical high-precision micro-motion table is designed and the finite element analysis software is used to design The structure of the form was analyzed to find out the main factors that affect the performance parameters, and then to achieve the optimal design of the micro-motion table
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