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用射频磁控溅射法制备了金属／半导体Fex（In2O3）1-x颗粒膜，研究了该系列颗粒膜的微结构和磁性．实验结果表明：纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中．室温下样品具有超顺磁性，符合朗之万方程．
用射频磁控溅射法制备金属／半导体颗粒膜
【摘 要】
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用射频磁控溅射法制备了金属／半导体Fex（In2O3）1-x颗粒膜，研究了该系列颗粒膜的微结构和磁性．实验结果表明：纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中．室温下样品具有超顺磁性，符合
【机 构】
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潍坊学院物理系
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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2007年9期
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