【摘 要】
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外延磁性石榴石薄膜的厚度,对于磁泡和静磁波器件设计来讲都是一个重要的参数。特别是,静磁波器件的色散特性对膜厚非常敏感,要求做出大面积、均匀的膜。为此,我们设计了一种
【机 构】
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外延磁性石榴石薄膜的厚度,对于磁泡和静磁波器件设计来讲都是一个重要的参数。特别是,静磁波器件的色散特性对膜厚非常敏感,要求做出大面积、均匀的膜。为此,我们设计了一种用可变角干涉法测量YIG膜厚及膜厚分布的装置,经两年多的使用,性能良好,测量精度为±2％。本文叙述了装置的结构,并给出典型的测量结果及其误差分析。
The thickness of the epitaxial magnetic garnet film is an important parameter for bubble and magnetostatic wave device design. In particular, the dispersion characteristics of magnetostatic wave devices are very sensitive to film thickness, requiring a large area, uniform film. To this end, we have designed a device that measures the YIG film thickness and film thickness using a variable angle interferometry method. After more than two years of use, the device performs well with a measurement accuracy of ± 2%. This article describes the structure of the device, and gives the typical measurement results and error analysis.
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