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美国Analog Devices Inc.公司已推出价位适中的基于微机电系统(MEMS)的陀螺仪,声称是第一个将所有的机械传感和信号处理电子元器件全部集成在单块芯片上。据位于美国麻萨诸塞州Cambridge市的Analog
全集成单片微机电系统(MEMS)面市
【摘 要】
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美国Analog Devices Inc.公司已推出价位适中的基于微机电系统(MEMS)的陀螺仪,声称是第一个将所有的机械传感和信号处理电子元器件全部集成在单块芯片上。据位于美国麻萨诸塞
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年12期
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