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较详细地分析了影响半导体力敏传感器性能的因素；介绍了圆膜片、片方膜、短形膜片上芯片的最佳设计方法．对研制开发新型的力敏传感器有一定的指导意义．更多还原
力敏传感器芯片设计分析
【摘 要】
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较详细地分析了影响半导体力敏传感器性能的因素；介绍了圆膜片、片方膜、短形膜片上芯片的最佳设计方法．对研制开发新型的力敏传感器有一定的指导意义．更多还原
【机 构】
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辽宁大学电子科学与工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2000年1期
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